Reactor de filamento caliente en la producción de películas de carbón con la técnica cvd

Abstract

Se diseñó y construyó un reactor de filamento caliente (HF) para producir películas de carbón por la técnica de depósito químico en fase vapor (CVD). Esta técnica se puede implementar con diferentes tipos de substratos. La caracterización de las películas de carbón se realizó utilizando difracción de Rayos X y Microscopía de Fuerza Atómica (AFM). El objetivo del crecimiento de las películas es mostrar que este reactor es viable para este tipo de estructuras de carbón donde se pueden obtener las diferentes fases alotrópicas. Las muestras de películas de carbón mostraron que bajo las condiciones de experimentación en el reactor, una de los grandes inconvenientes es el control de manera muy precisa del vacío residual y la relación entre los gases CH4/H2. También se requiere de un filamento de punto de fusión alto con un posible apantallamiento eléctrico para que impurezas que salen de este no se depositen en el substrato.